本發(fā)明公開了一種基于PFM的鈮酸鋰納米疇加工及成像方法,首先利用施加第一交流電壓的導(dǎo)電探針掃描鈮酸鋰薄膜表面;其次利用施加第一直流電壓的導(dǎo)電探針對掃描后的所述鈮酸鋰薄膜進(jìn)行納米疇加工;最后在施加第二交流電壓的導(dǎo)電探針對疇加工后的鈮酸鋰薄膜進(jìn)行納米疇結(jié)構(gòu)成像的同時,向所述鈮酸鋰薄膜表面施加第二直流電壓。本發(fā)明的效果是,在鈮酸鋰納米疇加工前對其施以交流電,能提高鈮酸鋰納米疇的形成概率,從而提高鈮酸鋰納米鐵電存儲器的容量;在鈮酸鋰納米疇成像的同時施以直流電,能顯著提升鈮酸鋰納米疇結(jié)構(gòu)成像分辨率,以驗證是否反轉(zhuǎn)形成了鈮酸鋰納米疇,以及確定納米疇的大小。
聲明:
“基于PFM的鈮酸鋰納米疇加工及成像方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)