一種基于摻鉺鈮酸鋰的光波導
芯片及鎖模激光器,該芯片自下向上依次是襯底、二氧化硅包層、摻鉺鈮酸鋰薄膜和射頻電極;利用光刻刻蝕所述的摻鉺鈮酸鋰薄膜,形成脊型摻鉺鈮酸鋰波導;在所述的摻鉺鈮酸鋰波導的兩側、互相平行地設置所述的射頻電極。本發(fā)明采用摻鉺鈮酸鋰薄膜作為波導,即保留了摻鉺波導的低噪聲增益特性,又引入了鈮酸鋰波導的電光特性,滿足了主動鎖模激光器所需的增益和調制需求,配合直流偏置,可以實現(xiàn)低噪聲且重頻連續(xù)可調的集成主動鎖模激光器。通過脊型摻鉺鈮酸鋰波導將電極間距靠近,降低所需的調制電壓和電功耗,對信號光和泵浦光模斑的強束縛還可以增加兩者的交疊,提升泵浦效率。
聲明:
“基于摻鉺鈮酸鋰的光波導芯片及鎖模激光器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)