本發(fā)明公開了一種MEMS微型固態(tài)鋰離子電池及其制備方法。通過將
鋰電池整理設置為MEMS懸臂梁結構,硅負極層在電池充放電時的體積變化引起MEMS懸臂梁結構發(fā)生彎曲變形,有效釋放和減小了由于硅體積變化在硅負極層內所引起的應力,降低了應力對硅負極層的損傷和破壞。本發(fā)明提供的MEMS微型固態(tài)鋰離子電池具有尺寸小、結構簡單、制作成本低、可靠性高、壽命長、能量密度高且具備在線檢測功能等優(yōu)點。
聲明:
“MEMS微型固態(tài)鋰離子電池及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)