本發(fā)明公開了一種折疊式硅?鈮酸鋰混合集成電光調(diào)制器及其制備方法，包括硅基輸入波導(dǎo)，硅基光分路器，硅?鈮酸鋰波導(dǎo)耦合結(jié)構(gòu)，第一條波導(dǎo)臂，第二條波導(dǎo)臂，硅基光合路器，硅基輸出波導(dǎo)，硅基波導(dǎo)交叉結(jié)構(gòu)，三個電極；其中第一條波導(dǎo)臂、第二條波導(dǎo)臂均包括硅?鈮酸鋰波導(dǎo)耦合結(jié)構(gòu)及兩條以上鈮酸鋰波導(dǎo)；第一條波導(dǎo)臂、第二條波導(dǎo)臂還包括硅基彎曲波導(dǎo)，硅基交叉結(jié)構(gòu)；在光路轉(zhuǎn)彎前鈮酸鋰光波導(dǎo)中的光通過硅?鈮酸鋰波導(dǎo)耦合結(jié)構(gòu)從鈮酸鋰波導(dǎo)中耦合到硅基光波導(dǎo)中，在硅基波導(dǎo)中實現(xiàn)光路的轉(zhuǎn)彎，并通過與硅基彎曲波導(dǎo)相連接的硅基交叉結(jié)構(gòu)實現(xiàn)光路在波導(dǎo)中的轉(zhuǎn)換，本發(fā)明有利于實現(xiàn)調(diào)制器的小型化。