本發(fā)明公開(kāi)了一種
鋰電池電極片的毛邊處理方法及裝置,該方法包括:S1、提供等離子體刻蝕裝置;S2、將鋰電池電極片豎直放置在所述等離子體刻蝕裝置腔室內(nèi)的第二電極上;S3、將所述腔室抽至本底真空,并向腔室內(nèi)通入反應(yīng)氣體使腔室達(dá)到預(yù)定氣壓;S4、開(kāi)啟并調(diào)節(jié)所述第一射頻源和第二射頻源,所述腔室內(nèi)反應(yīng)氣體被激發(fā)形成等離子體,所述等離子體對(duì)鋰電池電極片的剖面進(jìn)行轟擊以進(jìn)行刻蝕。本發(fā)明采用等離子體干法刻蝕的方法對(duì)鋰電池電極片剖面進(jìn)行刻蝕處理,處理過(guò)程中等離子體中的高能離子將轟擊鋰電池電極片的剖面并產(chǎn)生刻蝕效果,以除去電極片邊緣的金屬毛刺和金屬粉塵,由此消除鋰電池電極片邊緣毛刺造成內(nèi)部短路的隱患。
聲明:
“鋰電池電極片的毛邊處理方法及裝置” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)