一種用于鋰離子二次電池的負極薄膜及其制備方法與應用，屬于電化學領(lǐng)域。針對Si負極在嵌脫鋰過程中體積變化的缺陷，及電極循環(huán)性能問題，所述負極薄膜可表示為Si-M，其中M包含Ti、Cu、Ni、Sn中的至少一種，Si含量在50-95wt%之間。其制備方法為：濺射用靶材使用單質(zhì)Si靶和M靶、Si-M復合靶、Si-M合金靶或Si-M鑲嵌靶；在濺射氣氛下，對靶材進行濺射，在基底上形成一層Si-M薄膜負極材料。本發(fā)明所得到的負極薄膜材料不含粘結(jié)劑，膜層致密，與基體結(jié)合良好，比表面積/厚度較大，且M元素的加入可在一定程度緩解Si材料在充放電過程中的體積變化所引起的容量衰減，并提供了電子傳輸通道，從而可以提高Si基負極材料的循環(huán)穩(wěn)定性。