本實(shí)用新型公開了一種鈦擴(kuò)散鈮酸鋰薄膜偏振控制器,包括基底、二氧化硅下緩沖層、下層金電極、二氧化硅緩沖層、鈮酸鋰薄膜、鈦擴(kuò)散鈮酸鋰條波導(dǎo)、二氧化硅上緩沖層和上層金電極。本實(shí)用新型生產(chǎn)難度低、成品率高,并且顯著降低了偏振控制器的器形,使多功能光電子器件的集成更容易實(shí)現(xiàn),能夠使器件獲得更多的非線性效應(yīng),制造出的偏振控制器機(jī)械性能穩(wěn)定、耐高溫、抗腐蝕,具有較大的折射率和介電常數(shù),在加載電壓的同時(shí),其壓電效應(yīng)較小,響應(yīng)速度可以達(dá)到ns級。
聲明:
“鈦擴(kuò)散鈮酸鋰薄膜偏振控制器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)