本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高密度鈷酸鋰旋轉(zhuǎn)靶材,包括由外至內(nèi)依次設(shè)置的高溫?zé)Y(jié)而成的高密度鈷酸鋰旋轉(zhuǎn)圓柱靶管、邦定層和剛性芯桿,所述靶管和剛性芯桿通過(guò)所述邦定層澆鑄粘接在所述剛性芯桿上,所述靶管成分為L(zhǎng)iCoO2,密度為4.95g/cm3,相對(duì)密度不小于95%,厚度為5-15mm, 所述邦定層為熔點(diǎn)低于350℃的金屬,所述剛性芯桿為金屬芯桿,本實(shí)用新型解決了現(xiàn)有平面鈷酸鋰靶材利用率低,噴涂靶密度低及其性能不良的問(wèn)題。
聲明:
“鈷酸鋰高密度旋轉(zhuǎn)靶材” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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