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用于制備晶態(tài)含鋰化合物的氣相沉積方法

783   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-18 22:15:02
一種用于制備晶態(tài)含鋰過渡金屬氧化物化合物的氣相沉積方法,包括:提供該化合物的每個組分元素的蒸氣源,該蒸氣源包括至少鋰源、氧源和一種或多種過渡金屬的一個或多個源;將基材加熱至大致150℃和大致450℃之間;以及向已加熱的基材上共沉積來自蒸氣源的組分元素,其中該組分元素在該基材上反應(yīng)以形成晶態(tài)化合物。
聲明:
“用于制備晶態(tài)含鋰化合物的氣相沉積方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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