一種用于制備晶態(tài)含鋰過渡金屬氧化物化合物的氣相沉積方法,包括:提供該化合物的每個組分元素的蒸氣源,該蒸氣源包括至少鋰源、氧源和一種或多種過渡金屬的一個或多個源;將基材加熱至大致150℃和大致450℃之間;以及向已加熱的基材上共沉積來自蒸氣源的組分元素,其中該組分元素在該基材上反應(yīng)以形成晶態(tài)化合物。
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