本實(shí)用新型公開(kāi)了六氟磷酸鋰制備工藝中的氫氟酸尾氣回收裝置，包括儲(chǔ)氣箱和儲(chǔ)液箱，儲(chǔ)氣箱位于儲(chǔ)液箱頂端，儲(chǔ)氣箱頂端設(shè)有熱交換器本體，熱交換器本體外壁一端通過(guò)管道一連接有風(fēng)機(jī)，熱交換器本體外壁另一端通過(guò)管道二連接有氣液分離器，風(fēng)機(jī)通過(guò)管道三與儲(chǔ)氣箱內(nèi)壁連接，氣液分離器頂部延伸至儲(chǔ)氣箱內(nèi)壁，氣液分離器底部延伸至儲(chǔ)液箱內(nèi)部。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置進(jìn)氣口、儲(chǔ)氣箱、儲(chǔ)液箱、熱交換器本體、氣液分離器、管道一、風(fēng)機(jī)和管道三，可以使少量氣態(tài)的氫氟酸通過(guò)氣液分離器的頂部重新回到儲(chǔ)氣箱內(nèi)，對(duì)處理后的氫氟酸液體進(jìn)行集中收集，避免收集的液態(tài)氫氟酸中混有氣態(tài)氫氟酸，提高對(duì)氫氟酸尾氣的回收率。