本發(fā)明公開了一種形成具有雙模態(tài)顆粒尺寸分布的LiMO2(例如LiCoO2)濺射靶(如空心圓柱靶體)的方法,其包括基于CIP的方法,所述方法涉及例如形成或獲得LiMO2(例如LiCoO2)粉末;分散和研磨(例如濕磨);粘結(jié)劑引入;干燥(例如噴霧干燥),以形成顆粒;將所述顆粒CIP加工成模制形狀;以及用于去粘結(jié)和燒結(jié)的加熱循環(huán),以形成致密化的燒結(jié)形狀。所制造的靶體適用于被包括到濺射靶組件上(如旋轉(zhuǎn)濺射靶組件,其中多個(gè)圓柱形靶體連接于背襯支撐件)。本發(fā)明包括根據(jù)基于CIP的方法以及基于感應(yīng)加熱器的方法形成的所得靶體,其用于通過使用被提供給靶體的并且在連接方法期間被感應(yīng)加熱器加熱的被添加的導(dǎo)電包裹物或?qū)щ妼訉iMO2(例如LiCoO2)的低電導(dǎo)率靶體連接(例如用金屬焊料粘合)到共用背襯支撐件。
聲明:
“含鋰過渡金屬氧化物靶” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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