本實用新型公開了一種液態(tài)金屬回路極紫外光源系統(tǒng)，外殼體頂部插入有輸送液態(tài)金屬的進(jìn)液靶管，進(jìn)液靶管下方設(shè)置有液態(tài)鋰靶設(shè)備，液態(tài)鋰靶設(shè)備下方設(shè)置有出液靶管，出液靶管將液態(tài)金屬輸送至鋰罐體，過濾罐體設(shè)置于鋰罐體內(nèi)部，過濾罐體通過管道與電磁泵，電磁泵的出口端通過管道與進(jìn)液靶管連接，外殼體側(cè)面與液態(tài)鋰靶設(shè)備位置對應(yīng)處具有連通的極紫外光源出口，外殼體側(cè)面具有連通的激光束入管，激光束入管處設(shè)置有激光器，激光器產(chǎn)生的激光作用于液態(tài)鋰靶設(shè)備之上，激光束入管側(cè)面具有連通的真空管，真空管與抽真空設(shè)備連接，鋰罐體外側(cè)纏繞有電發(fā)熱絲，鋰罐體具有連通的真空泵接頭，解決現(xiàn)有技術(shù)中需要產(chǎn)生穩(wěn)定高效的13.5nm光源的技術(shù)問題。