本發(fā)明涉及片上集成光子學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及一種高效率片上聲光偏轉(zhuǎn)器及其制備方法。包括設(shè)置在氧化硅基片上的鈮酸鋰?氮化硅異質(zhì)結(jié)構(gòu)，鈮酸鋰?氮化硅異質(zhì)結(jié)構(gòu)包括鈮酸鋰薄膜以及氮化硅形成的多模式耦合器結(jié)構(gòu)。所述鈮酸鋰薄膜上設(shè)置可激發(fā)聲波的叉指換能器。本發(fā)明中利用到了鈮酸鋰的壓電特性和聲致光柵衍射效應(yīng)，集成叉指換能器和光子波導(dǎo)中的多模式耦合器原理，光子經(jīng)過(guò)聲波形成的周期性結(jié)構(gòu)產(chǎn)生布拉格衍射最終實(shí)現(xiàn)偏轉(zhuǎn)。上述聲光偏轉(zhuǎn)器減小了片上聲光偏轉(zhuǎn)器的尺寸，增強(qiáng)了聲子和光子的相互作用，提高了效率，所用到的鈮酸鋰和氮化硅材料性質(zhì)穩(wěn)定，易于加工，并可實(shí)現(xiàn)片上大規(guī)模集成。