一種適合于高質(zhì)量GaN外延生長的 γ－LiAlO2/α－Al2O3柔性襯底材料及其制備方法， 該柔性襯底材料是在白寶石α－Al2O3上設有一層四 方相的鋁酸鋰γ－LiAlO2構(gòu)成。該柔性襯底材料的制 備方法是：先將清洗的α－Al2O3襯底送入脈沖激光淀積(PLD) 系統(tǒng)，在富鋰的環(huán)境氣氛下淀積Li2O薄膜，然后將上步驟中 得到的Li2O/α－Al2O3樣品放入退火爐中，在富鋰的反應氣氛 下，Li2O與α－Al2O3在高溫下發(fā)生固相反應得到γ－LiAlO2 覆蓋層，通過控制退火時間得到具有不同厚度的γ－LiAlO2 覆蓋層，再利用去離子水溶解清洗掉未反應的Li2O，從而得到 γ－LiAlO2/α－Al2O3柔性襯底。