本發(fā)明的課題是提供能夠在包含硅鋁氧氮陶瓷的支撐基板上牢固地接合包含鈮酸鋰或鉭酸鋰的壓電性材料層的微結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的解決手段是提供能夠在包含硅鋁氧氮陶瓷的支撐基板上牢固地接合包含鈮酸鋰或鉭酸鋰的壓電性材料層的微結(jié)構(gòu)。接合體具備支撐基板及壓電性材料層。支撐基板包含硅鋁氧氮陶瓷。壓電性材料層的材質(zhì)為LiAO
3(A為選自由鈮及鉭構(gòu)成的組中的一種以上元素)。接合體具備:沿著支撐基板與壓電性材料層之間的界面而存在的界面層及在界面層與支撐基板之間所存在的支撐基板側(cè)中間層。界面層及支撐基板側(cè)中間層分別以選自由鈮及鉭構(gòu)成的組中的一種以上元素、氮、氧、鋁以及硅為主成分。
聲明:
“接合體及彈性波元件” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)