本發(fā)明公開了一種基于體聲波諧振器的光聲波陀螺儀及其加工方法，陀螺儀包括鈮酸鋰光通路層、體聲波諧振器、共型電極和玻璃襯底，玻璃襯底與體聲波諧振器的硅層進(jìn)行陽(yáng)極鍵合，共型電極有多個(gè)，且均勻分布在體聲波諧振器外圍，并與玻璃襯底陽(yáng)極鍵合，鈮酸鋰光路層覆蓋在體聲波諧振器上方，并在45°和225°方向延伸出光通路條，且光通路條位于共型電極上方；在每個(gè)共型電極和體聲波諧振器底部設(shè)有金屬焊盤；玻璃襯底上開設(shè)有與共型電極和體聲波諧振器底部的金屬焊盤位置一一對(duì)應(yīng)的電極通孔。本發(fā)明可以做的很小，結(jié)構(gòu)完整性好、測(cè)量精密度高；加工封裝方法能縮短生產(chǎn)周期，適合批量化生產(chǎn)。