本發(fā)明涉及新型鈦絡(luò)合物，其具有優(yōu)良的氣化特征和熱穩(wěn)定性并可以作為通過(guò)CVD、ALD或其類(lèi)似法形成含鈦薄膜中的原料；用于制備絡(luò)合物的方法；使用絡(luò)合物形成含鈦薄膜；用于形成膜的方法。根據(jù)本發(fā)明，由通式(1)表示的鈦絡(luò)合物是通過(guò)將通式(2)表示的二亞胺與金屬鋰反應(yīng)，然后與由通式(3)表示的四酰胺絡(luò)合物反應(yīng)并通過(guò)使用鈦絡(luò)合物作為原料形成含鈦薄膜(其中R1和R4各自獨(dú)立地是1－6個(gè)碳原子的烷基或類(lèi)似物；R2和R3各自獨(dú)立地為氫、1－3個(gè)碳原子的烷基或類(lèi)似物而R5和R6各自獨(dú)立地為1－4個(gè)碳原子的烷基或類(lèi)似物)。