根據(jù)圖1的用于在體積流速為10^?2mL/sec至10⁵mL/sec的流動流體(2.2)中的具有400pm至≤500μm的粒度的懸浮物(2.3)的過濾器裝置(1)，包括：一裝置(2)，用于通過利用電子反饋回路穩(wěn)定的超聲波及其諧波(2.4.2)以1kHz至800MHz的頻率和40dB至250dB的功率水平在流體(2.2)中或在附接于該流體的主體(2.6)中輸入0.25W至1kW的能量，使粒度為1nm至50nm的懸浮物(2.3.1)和MPPS粒度為≥200nm至≤400nm的懸浮物(2.3.2)的比顆粒數(shù)(N/Vt)減?。?9％，使得具有比顆粒數(shù)(N/Vt)≤20％的懸浮物(2.3.1)和/或懸浮物(2.3.2)，以及具有粒度為≥50nm至≤200nm的懸浮物(2.3.3)和/或具有粒度為≥400nm至＞1000nm的懸浮物(2.3.4)的流體(2.2.1)在每種情況下可獲得≥80％的比顆粒數(shù)(N/Vt)，進一步包括具有壁(2.1.1)的流管(2.1)，該流管在其外側(cè)(2.1.1.1)、其內(nèi)側(cè)(2.1.1.2)上和/或在壁(2.1.1)中具有多對縱波及其諧波(2.4.2.)的彼此相對的激勵器(2.4.1)的對，和/或與激勵器(2.4.1)相對的反射器(2.4.3)的對，流體(2.2)和(2.2.1)可流過該流管；用于流體(2.2)和(2.2.1)的輸送裝置(2.5)，以及流管(2.1)與50nm至1000nm的最小可過濾粒度的過濾器(3)的連接件(2.7)，其將過濾流體(2.2.2)中的懸浮物(2.3.1)、(2.3.2)、(2.3.3)和(2.3.4)的比顆粒數(shù)(N/Vt)保持低于可檢測極限或至多0.1％，其中N＝顆粒數(shù)，V＝體積[m³]，t＝時間[h]，并且所指示的百分比與相應(yīng)懸浮物的相應(yīng)比起始數(shù)(N/Vt)＝100％相關(guān)；以及利用過濾器裝置(1)的過濾方法、用途和設(shè)備及裝置。