一種復(fù)合藍(lán)寶石襯底基片及其制備方法,該復(fù)合 藍(lán)寶石襯底基片是在藍(lán)寶石基片(α- Al2O3)背面覆蓋一層鋁酸鋰(γ- LiAlO2)構(gòu)成,它是利用氣相傳輸 平衡方法制備的,該復(fù)合藍(lán)寶石襯底基片 LiAlO2/α- Al2O3,克服了藍(lán)寶石(α- Al2O3)硬度高的缺點(diǎn),提高了藍(lán)寶石基氮化物
芯片 LiAlO2/α- Al2O3/GaN的減薄和劃片的效率,劃片成品率普遍提高5%-10 %。
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“復(fù)合藍(lán)寶石襯底基片及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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