本發(fā)明提供對(duì)于紫外線具有選擇性靈敏度的新型紫外線受光元件以及使用該紫外線受光元件的紫外線量的測(cè)定方法。在石英玻璃、藍(lán)寶石等基板上形成由氟化鈰、氟化鋰、氟化鎂、氟化鈣等金屬氟化物薄膜構(gòu)成的紫外線檢測(cè)層,進(jìn)一步在該紫外線檢測(cè)層上形成至少一對(duì)陽(yáng)極和陰極,從而形成紫外線受光元件。由于該紫外線受光元件的電阻率根據(jù)入射的紫外線量而變化,因此將該變化以電信號(hào)的形式輸出和測(cè)定,從而可以測(cè)定紫外線量。
聲明:
“紫外線受光元件和紫外線量的測(cè)定方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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