本發(fā)明公開一種工件清洗方法。該方法包括：將工作氣體通入所述等離子體發(fā)生器內(nèi)，并將等離子體發(fā)生器內(nèi)的氣體抽出，使所述等離子體發(fā)生器內(nèi)的氣壓在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)；啟動電源，使留在等離子體發(fā)生器內(nèi)的工作氣體放電，產(chǎn)生等離子體對所述待清洗的工件進(jìn)行清洗；預(yù)設(shè)時間后，向等離子體發(fā)生器內(nèi)通入空氣，使等離子體發(fā)生器內(nèi)部恢復(fù)常壓。本發(fā)明提供的工件清洗方法，能夠避免產(chǎn)生廢水，減少環(huán)境污染。