本發(fā)明涉及一種高精度氧碘化學(xué)激光遠(yuǎn)場(chǎng)光束質(zhì)量測(cè)量裝置，包括衰減分光鏡、近場(chǎng)光強(qiáng)分布測(cè)量裝置、聚焦透鏡、分束器、兩個(gè)光斑測(cè)量裝置及數(shù)據(jù)處理單元；激光束的光路上設(shè)有分光器，分光器的一個(gè)輸出光路上設(shè)有近場(chǎng)光強(qiáng)分布測(cè)量裝置，另一輸出光路上依次設(shè)有聚焦透鏡和分束器，分束器的兩個(gè)輸出光路上分別設(shè)有光斑測(cè)量裝置，所述光斑測(cè)量裝置與近場(chǎng)光強(qiáng)分布測(cè)量裝置均與數(shù)據(jù)處理單元連接。其方法為：控制兩個(gè)導(dǎo)軌位于設(shè)定位置；數(shù)據(jù)處理單元根據(jù)光斑圖像和近場(chǎng)光腔分布測(cè)量裝置采集的強(qiáng)光光束的近場(chǎng)強(qiáng)度分布數(shù)據(jù)得到光束的遠(yuǎn)場(chǎng)光束質(zhì)量數(shù)據(jù)。本發(fā)明由于采及圖形遠(yuǎn)離焦點(diǎn)，減小了CCD動(dòng)態(tài)范圍引入的測(cè)量誤差，同時(shí)也降低了對(duì)成像系統(tǒng)的焦距要求。