一種用于改良
電化學(xué)電容電壓(EVC)造形測量準(zhǔn)確度的裝置與方法,其方式是警示操作者蝕刻過程中產(chǎn)生表面薄膜或氣泡,使用該就地監(jiān)控裝置在測量循環(huán)結(jié)束時測定實際測量區(qū)域,并使用新值重新計算該數(shù)據(jù)。通過使區(qū)域測量與EVC工具形成整體,可針對該實際測量區(qū)域修正每個樣品的測量,從而可改良準(zhǔn)確度并消除一大的錯誤源。
聲明:
“用于改良電化學(xué)電容電壓測量準(zhǔn)確度及可重復(fù)性的監(jiān)控裝置及方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)