本發(fā)明公開一種高靈敏度多氣體檢測的氣敏傳感器,所述氣敏傳感器是以納米氧化鎳為氣敏材料,其特點在于,所述納米氧化鎳是通過包括如下步驟得到:(1)采用三電極體系在ITO玻璃上
電化學(xué)沉積鎳原子層:工作電極為ITO玻璃,輔助電極為Ni,參比電極為飽和甘汞電極,電解液為
硫酸鎳水溶液;(2)步驟(1)沉積鎳原子層后的ITO玻璃在空氣氣氛下于350~380℃處理60~90min,冷卻,超聲處理,得到具有玫瑰花狀形貌的所述納米氧化鎳。與現(xiàn)有以納米氧化鎳作為氣敏材料的氣敏傳感器相比,本發(fā)明的氣敏傳感器可顯著提高對氣體的檢測靈敏度,特別是濃度低至20ppm以下的靈敏度。
聲明:
“高靈敏度多氣體檢測的氣敏傳感器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)