本發(fā)明提供化學(xué)機(jī)械(CMP)拋光墊,用于拋光選自包括所述CMP拋光墊的半導(dǎo)體襯底的襯底,并且具有一個(gè)或多個(gè)終點(diǎn)檢測(cè)窗口,所述窗口為具有兩個(gè)(甲基)丙烯酸酯端基的線性環(huán)脂肪族氨基甲酸酯大分子單體或其環(huán)脂肪族氨基甲酸酯寡聚物與脂肪族引發(fā)劑的反應(yīng)混合物的固化產(chǎn)物,所述(甲基)丙烯酸酯端基經(jīng)由環(huán)脂肪族二氨基甲酸酯鍵合至平均分子量為450至2,000的聚醚、聚碳酸酯或聚酯鏈,其中所述氨基甲酸酯大分子單體中的總異氰酸酯含量在3.3至10重量%范圍內(nèi),并且進(jìn)一步地,其中,所述組合物包括小于5重量%的未反應(yīng)的(甲基)丙烯酸酯單體,并且大體上不含未反應(yīng)的異氰酸酯。無論其硬度或缺乏硬度,所述終點(diǎn)檢測(cè)窗口在潮濕時(shí)均具有出色耐用性。
聲明:
“具有CMP拋光墊用的高UV透明度的脂肪族UV固化的聚氨基甲酸酯光學(xué)終點(diǎn)檢測(cè)窗口” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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