一種針對(duì)各種應(yīng)用的在
芯片級(jí)上高效地且經(jīng)濟(jì)地生產(chǎn)的
電化學(xué)傳感器裝置被公開。在一些方面,所述裝置是在晶圓技術(shù)上或者使用晶圓技術(shù)制作的,由此傳感器室是通過所述晶圓創(chuàng)建的,并且氣體端口允許傳感器的工作電極檢測(cè)某些氣體。通過使用晶圓技術(shù),大規(guī)模生產(chǎn)是可能的,其中單個(gè)傳感器是從一個(gè)或更多個(gè)共用晶圓生產(chǎn)的。集成電路在晶圓中或晶圓上被以集成的方式制作以使得晶圓為集成電路系統(tǒng)和互連部分提供基板、而且還提供其中設(shè)置氣體傳感器的室的限定。
聲明:
“用于低密度材料的芯片級(jí)感測(cè)裝置” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)