本發(fā)明公開了一種
石墨烯膜基低頻聲波探測器,該探測器以高強石墨烯膜為主要探測器件,經(jīng)過組裝設(shè)計,形成由石墨烯/導(dǎo)電基底為兩極的電容器。聲波震動,引起石墨烯膜的震動,改變石墨烯膜和導(dǎo)電基底之間的距離,進(jìn)而引起電容變化,產(chǎn)生電流信號。此高強石墨烯經(jīng)刻蝕制孔、真空過濾成膜、化學(xué)還原、固相轉(zhuǎn)移、金屬噴涂、中溫碳化、綠氣氯化、高溫石墨化等步驟得到。該薄膜整體為石墨烯結(jié)構(gòu),片層間有大量層間交聯(lián)結(jié)構(gòu)。整體薄膜厚度為20?50nm。此石墨烯膜電導(dǎo)率可控、強度可調(diào),可用作低頻聲波探測器件。
聲明:
“石墨烯膜基低頻聲波探測器” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)