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室溫鐵電薄膜紅外焦平面探測器的吸收層及制備方法

746   編輯:管理員   來源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 07:25:59
本發(fā)明公開了一種室溫鐵電薄膜紅外焦平面探測器的吸收層及制備方法,所說的吸收層是置在焦平面探測器的上電極層上的,或者是置在焦平面探測器的鐵電薄膜上的鈦與二氧化鈦混合的多孔薄層。制備方法首先采用直流磁控濺射方法將金屬Ti濺射鐵電薄膜上或上電極層上,然后利用化學(xué)腐蝕的方法,將鈦膜腐蝕成多孔態(tài),目的是為了降低薄膜中自由電子密度,將其等離子吸收邊調(diào)節(jié)到探測器應(yīng)用的紅外波長。薄膜多孔結(jié)構(gòu)中高密度的表面態(tài)對入射進(jìn)來的電磁波進(jìn)一步吸收使之不同于通常金屬。本發(fā)明的優(yōu)點:與常規(guī)的金黑吸收層工藝相比,本吸收層制備工藝簡單,可以通過光刻以及腐蝕或干法刻蝕等途徑制備成分立靈敏元結(jié)構(gòu)。
聲明:
“室溫鐵電薄膜紅外焦平面探測器的吸收層及制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)
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