本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的紅外探測器在其讀出電路制作完成后需要合適的化學(xué)機(jī)械拋光工藝來實現(xiàn)硅片表面的平坦化,電路面積大,以及系統(tǒng)集成工藝要求高的缺陷,提供一種紅外探測器及其制備方法。該紅外探測器包括紅外探測元件和讀出電路,紅外探測元件形成在第一襯底的一側(cè),紅外探測元件的邊緣具有電極孔,其中,讀出電路形成在第二襯底的一側(cè),并且讀出電路具有電極,第一襯底上形成有貫穿第一襯底的并且填充有導(dǎo)電材料的硅通孔,所述紅外探測元件的電極孔與所述讀出電路的電極通過硅通孔中填充的導(dǎo)電材料彼此電連接。
聲明:
“紅外探測器及其制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)