本發(fā)明涉及工程材料技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種納米壓痕法研究膜?基體復(fù)合結(jié)構(gòu)力學(xué)性質(zhì)的方法及系統(tǒng)。所述膜?基體復(fù)合結(jié)構(gòu)力學(xué)性質(zhì)的方法包括：陽極化處理，在基材表面原位、實(shí)時(shí)生長氧化膜；壓痕處理，中止極化并對(duì)所述氧化膜進(jìn)行壓痕處理。所述陽極化處理步驟和所述壓痕處理步驟交替進(jìn)行N次，N≥2，測(cè)試不同厚度比條件下的膜?基體復(fù)合結(jié)構(gòu)的彈性模量和硬度，利用納米壓痕理論建立實(shí)驗(yàn)測(cè)量得到的模量和硬度與膜、基體各自的模量和硬度之間的關(guān)系。所述測(cè)試膜?基體復(fù)合結(jié)構(gòu)力學(xué)性質(zhì)的系統(tǒng)包括電化學(xué)組件和納米壓痕組件，可以極大程度地拓展納米壓痕儀所能實(shí)現(xiàn)的問題研究范圍，并為研究電化學(xué)環(huán)境下薄膜?基體變形機(jī)理提供新的分析手段。