一種晶振片的再生裝置及工藝,再生裝置包括:依次緊鄰設(shè)置的紫外光照腔室、化學(xué)試劑浸泡腔室和無(wú)水乙醇清洗腔室;紫外光照腔室內(nèi)部設(shè)有用于放置晶振片的承載臺(tái),在承載臺(tái)上方設(shè)置紫外燈。再生工藝包括:紫外燈光照預(yù)處理,將報(bào)廢晶振片置入紫外光照腔室;化學(xué)試劑清洗,將經(jīng)過(guò)紫外光照后的晶振片放入化學(xué)試劑浸泡腔室浸泡30?60min;無(wú)水乙醇清洗:化學(xué)試劑清洗后,放入無(wú)水乙醇清洗腔室進(jìn)行清洗,去除晶振片上殘留的化學(xué)試劑;壓縮空氣吹干;再生后晶振片進(jìn)行頻率測(cè)試,若符合要求,即可上機(jī)重復(fù)使用。本發(fā)明處理工藝簡(jiǎn)單,再生后晶振片頻率可恢復(fù)原值,能夠?qū)崿F(xiàn)晶振片重復(fù)利用。
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“晶振片的再生裝置及工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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