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日盲紫外光敏晶體管的制備方法

682   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色技術(shù)網(wǎng)  
2023-03-19 08:30:15
本發(fā)明公開(kāi)了一種日盲紫外光敏晶體管的制備方法,包括如下步驟:步驟1:將襯底進(jìn)行預(yù)處理后,通過(guò)光刻剝離技術(shù)曝光顯影出柵極小島區(qū)域,并在所述柵極小島區(qū)域蒸鍍導(dǎo)電膜;步驟2:再通過(guò)光刻剝離技術(shù)曝光顯影出第一堆疊小島區(qū)域,并在所述第一堆疊小島區(qū)域化學(xué)氣相沉積絕緣層后,磁控濺射光敏層;步驟3:再通過(guò)光刻剝離技術(shù)曝光顯影出第二堆疊小島區(qū)域,并在所述第二堆疊小島區(qū)域磁控濺射背溝道層后,蒸鍍叉指電極層。采用背溝道刻蝕方法和叉指電極結(jié)構(gòu)在保證光電探測(cè)范圍的條件下,增強(qiáng)了器件電學(xué)性能,提高了光電探測(cè)特性,器件制備工藝簡(jiǎn)單,在紫外探測(cè)領(lǐng)域具有良好應(yīng)用前景。
聲明:
“日盲紫外光敏晶體管的制備方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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