一種化學(xué)機(jī)械拋光系統(tǒng)包括:壓板,用以支撐拋光墊;承載頭,用以保持基板并且使基板的下表面與拋光墊接觸;和原位摩擦監(jiān)測系統(tǒng),包括摩擦傳感器。摩擦傳感器包括:墊部分,所述墊部分具有基板接觸部分,基板接觸部分具有與基板的下表面接觸的上表面;和一對電容式傳感器,位于基板接觸部分的下方并且位于基板接觸部分的相對側(cè)上。
聲明:
“具有電容式剪力傳感器的拋光系統(tǒng)” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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