本發(fā)明公開(kāi)了一種光學(xué)玻璃拋光亞表面損傷無(wú)損檢測(cè)方法：先制備無(wú)損基底，再確定橢偏檢測(cè)入射角；將無(wú)損基底定義為襯底-環(huán)境結(jié)構(gòu)，使用標(biāo)準(zhǔn)電介質(zhì)函數(shù)作為其材料物理模型，根據(jù)橢偏檢測(cè)入射角下測(cè)得的橢偏參數(shù)，計(jì)算出無(wú)損基底的光學(xué)常數(shù)；將試樣的亞表面損傷層定義為包括空氣、表面粗糙層、再沉積層和襯底的多層膜光學(xué)模型；在多層膜光學(xué)模型基礎(chǔ)上采用混合材料有效介質(zhì)模型建立多層膜材料物理模型，測(cè)量試樣的表面粗糙度、表面沉積物質(zhì)沿深度分布規(guī)律，并使用無(wú)損基底光學(xué)常數(shù)；最后根據(jù)橢偏檢測(cè)入射角下測(cè)得的試樣橢偏參數(shù)，利用回歸算法進(jìn)行反演運(yùn)算，獲得亞表面損傷層的深度值。本發(fā)明的檢測(cè)方法準(zhǔn)確可靠，快速高效，且靈活可控。