本發(fā)明提供一種基于反射太赫茲光譜的介質(zhì)厚度預(yù)測、評價方法及系統(tǒng)，預(yù)測方法包括：獲取待測區(qū)域的太赫茲反射信號并進(jìn)行預(yù)處理；將所述預(yù)處理后的待測區(qū)域的太赫茲反射信號輸入厚度預(yù)測模型，獲得厚度預(yù)測模型輸出的所述待測區(qū)域的厚度值。評價方法包括：將厚度預(yù)測結(jié)果與利用時間延遲原理計算得到的厚度結(jié)果進(jìn)行比較，進(jìn)一步驗證預(yù)測模型的準(zhǔn)確性和適用性。本發(fā)明提供的預(yù)測方法只需考慮參考波形和已知參考厚度，建立兩者的擬合模型，避免了因介質(zhì)厚度較薄使信號混疊和因太赫茲波傳輸色散使波形展寬引起的厚度計算誤差，為光學(xué)薄樣品和厚樣品的厚度測量提供了新思路，對結(jié)構(gòu)復(fù)雜的工業(yè)部件的厚度無損檢測提供了新的方向。