本發(fā)明涉及一種薄膜材料熱導率的測量方法。利用點狀脈沖加熱裝置對待測樣品進行加熱,同時利用熱成像儀對其加熱區(qū)域進行溫度測量,然后將其空間溫度分布結(jié)果導入通用計算軟件中進行非線性曲面擬合,得出一維時間空間溫度分布函數(shù)u=f(x,t),其中,u是關(guān)于空間(x)和時間(t)的二元函數(shù),℃;x為測量點距熱源中心的距離,單位為mm;t為加熱時間,s;最后將方程代入一維熱傳導方程
中進行熱導率求解;其中,
k為熱導率,c、ρ分別為密度和比熱。本發(fā)明減少了界面熱阻對測試結(jié)果精確度的影響,且對樣品無損傷;溫度測量結(jié)果可以直接進行非線性曲面擬合,可直接得出一維時間空間溫度分布函數(shù),對樣品種類、厚度和有無襯底無特別要求。
聲明:
“薄膜材料熱導率的測量方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)