本發(fā)明公開的一種柵氧化層失效分析方法,通過采用具有一定能量的離子束對已經(jīng)制備好的TEM樣品進行轟擊,使得TEM樣品中的Poly非晶化,從而不會在透射電子顯微鏡中呈現(xiàn)出Poly的晶格襯度,而重金屬的襯度依然保留,從而可以在透射電子顯微鏡下明確觀察到重金屬污染的位置并順利地進行元素分析,進而有效的提高柵氧化層失效分析的效率。
聲明:
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