本發(fā)明公開了一種檢測鎳鉑去除裝置的方法,該方法包括:A、提供一表面形成氮化硅SiN的試驗(yàn)樣品,使用鎳鉑去除裝置對(duì)該試驗(yàn)樣品進(jìn)行鎳鉑去除工藝;B、使用光學(xué)測量工具檢測SiN表面的雜質(zhì)數(shù)量,如果雜質(zhì)數(shù)量不符合工藝要求,則執(zhí)行步驟C;如果雜質(zhì)數(shù)量符合工藝要求,則結(jié)束流程;C、對(duì)該鎳鉑去除裝置進(jìn)行清洗,然后執(zhí)行步驟A。使用表面形成氮化硅SiN的試驗(yàn)樣品檢測鎳鉑去除裝置的方法,能夠真實(shí)反映該鎳鉑去除裝置的潔凈度,因此可以及時(shí)對(duì)不符合工藝要求的鎳鉑去除裝置加以調(diào)整,從源頭避免失效成品的產(chǎn)生,從而節(jié)約大量成本和制造時(shí)間。
聲明:
“檢測鎳鉑去除裝置的方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)