本發(fā)明是一種類金剛石薄膜的摩擦、磨損壽命的測試方法,該方法對不同條件下的薄膜壽命進(jìn)行擬合,結(jié)合摩擦磨損失效過程機(jī)理,得到磨損壽命與測試載荷、頻率以及薄膜厚度的相關(guān)關(guān)系,建立類金剛石薄膜壽命預(yù)測經(jīng)驗(yàn)?zāi)P汀.?dāng)一組數(shù)據(jù)采用SPSS進(jìn)行數(shù)據(jù)擬合時,通??梢赃x擇多種不同的函數(shù)關(guān)系,在本預(yù)測方法中,基于對類金剛石薄膜的摩擦磨損失效機(jī)理的研究,冪函數(shù)能夠很好的模擬類金剛石薄膜摩擦壽命與載荷、速率、厚度、摻雜量的相關(guān)關(guān)系。通過該擬合方法得到了經(jīng)驗(yàn)?zāi)P湍軌蚋淤N合薄膜實(shí)際演變規(guī)律,預(yù)測準(zhǔn)確性大幅提高。
聲明:
“類金剛石薄膜的摩擦、磨損壽命的測試方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)