微電子器件可靠性快速評(píng)價(jià)方法,屬于微電子技 術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的步驟為:1)先測(cè)量出微電子器件焦耳熱溫升; 2)測(cè)量該微電子器件的失效敏感參數(shù)P在選定溫度范圍內(nèi)分別 在不加和加電應(yīng)力條件下隨溫度Tj變化的數(shù)據(jù),并分別繪制曲線且擬合成直線;3)取3組微電子器件,在三種不同電應(yīng)力的條件下,進(jìn)行溫度斜坡試驗(yàn),得到每組微電子器件的平均失效激活能、平均失效時(shí)間、平均失效溫度范圍;4)計(jì)算出公式: 中的系數(shù)A、m、n;5)計(jì)算失效敏感參數(shù)P所承受的電熱應(yīng)力的能量;6)計(jì)算微電子器件在V、j和Tj分別為正常工作條件下的數(shù)值時(shí)的壽命τ。本發(fā)明可使試驗(yàn)周期縮短、所需試驗(yàn)樣品少,大大降低了成本,同時(shí)能夠給出單樣品的壽命。
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