一種真空系統(tǒng)，具有診斷電路以及用于監(jiān)視這種真空系統(tǒng)的健康的方法和計算機程序，所述真空系統(tǒng)包括：至少一個低溫泵；與低溫泵相關(guān)聯(lián)的傳感器，每個傳感器被配置成感測低溫泵的操作條件；以及診斷電路，其被配置成接收從傳感器采樣的信號。診斷電路包括低溫泵的診斷模型，診斷模型是從多個再生和服務(wù)時間時段上操作的相同類型的多個低溫泵的歷史數(shù)據(jù)導(dǎo)出的并且被配置成將來自至少一些傳感器的采樣信號的值與預(yù)定時間內(nèi)的泵失效的概率相關(guān)。診斷電路被配置成將采樣信號應(yīng)用于診斷模型并從模型的輸出確定預(yù)定時間內(nèi)的至少一個低溫泵失效的概率。