本發(fā)明涉及一種制備AZO靶材的工藝,其包括將菱鋅礦粉加入氨水和碳酸氫氨溶液中進(jìn)行浸出,對(duì)浸出液進(jìn)行除雜、過(guò)濾;將過(guò)濾后的固體先用氨水溶液洗滌,再用無(wú)水乙醇淋洗;接著進(jìn)行陳化、抽濾,得到前驅(qū)體;將前驅(qū)體干燥、煅燒,得到納米氧化鋅粉體;將上述納米氧化鋅粉體和
氧化鋁粉體加入聚丙烯酸溶液中,形成懸浮液,再對(duì)懸浮液進(jìn)行球磨;接著將過(guò)硫酸銨和四甲基乙二胺均勻加入球磨后的懸浮液中,進(jìn)行真空除氣后倒入模具,并固化、脫模干燥得到生坯;對(duì)生坯排膠處理后進(jìn)行燒結(jié),得到?AZO?靶材。本發(fā)明不僅工藝流程較短,設(shè)備投資較?。槐景l(fā)明將氧化鋅納米級(jí)顆粒通過(guò)上述工藝制備的AZO靶材成分分布均勻、密度高,提高了AZO靶材的使用性能。
聲明:
“制備AZO靶材的工藝” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)