本發(fā)明涉及一種貧銅富鋅的銅鋅錫硫濺射靶,該銅鋅錫硫濺射靶具有鋅黃錫礦結構,含有Cu、Zn、Sn及S元素,該四種元素的原子比滿足Cu/(Zn+Sn)<1且Zn/Sn>1。本發(fā)明還涉及一種銅鋅錫硫濺射靶的制備方法,包括:1)機械合金化:將硫化亞銅粉末、硫化鋅粉末和二硫化錫粉末按摩爾比為(0.5-1.3):(1-1.6):(0.4-1),且不含1:1:1比例,在液態(tài)介質中進行球磨混合,再經烘干獲得混合粉末;以及2)將該混合粉末進行壓制成型和燒結,得到具有貧銅富鋅成分的銅鋅錫硫濺射靶。
聲明:
“銅鋅錫硫濺射靶及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術所有人。
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