本發(fā)明涉及一種PNNZT基多相共存弛豫鐵電外延薄膜的制備方法,屬于化學(xué)工程技術(shù)領(lǐng)域。一種PNNZT基多相共存弛豫鐵電外延薄膜的制備方法,包括以下步驟:將同為
鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的SrTiO
3(100/111)單晶基片作為襯底,采用固相合成法和激光脈沖沉積法制備鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的La
0.7Sr
0.3MnO
3(100/111)外延薄膜;采用溶膠凝膠法和固相燒結(jié)法制備PNNZT靶材,將PNNZT前驅(qū)體溶液于室溫下攪拌1.5?2h,并放置24?30h,自然風(fēng)干,制得凝膠;所得凝膠干燥、煅燒、研磨、壓制制得粒料,所得粒料經(jīng)過燒結(jié),自然冷卻即得所需的PNNZT靶材;制得的PNNZT靶材利用激光脈沖沉積法在底電極上外延制備出多相共存的弛豫鐵電外延薄膜。本發(fā)明的有益效果是獲得具有純度高、致密性好、平均晶粒尺寸小、電場(chǎng)擊穿強(qiáng)度大、電卡效應(yīng)大等優(yōu)點(diǎn)的薄膜。
聲明:
“PNNZT基多相共存弛豫鐵電外延薄膜的制備方法” 該技術(shù)專利(論文)所有權(quán)利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習(xí)研究,如用于商業(yè)用途,請(qǐng)聯(lián)系該技術(shù)所有人。
我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)