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單室四源高真空電阻式鍍膜設(shè)備

單室四源高真空電阻式鍍膜設(shè)備

181
規(guī)格/型號(hào)：暫無(wú)
品牌：科誠(chéng)
應(yīng)用領(lǐng)域：冶金
產(chǎn)地：遼寧 - 沈陽(yáng)
廠家/供應(yīng)商：沈陽(yáng)科誠(chéng)真空技術(shù)有限公司
咨詢(xún)電話:：13998121527（請(qǐng)說(shuō)明信息源自“中冶有色網(wǎng)”）
更新時(shí)間：2025-03-27
級(jí)別：待認(rèn)證

單室四源高真空電阻式鍍膜設(shè)備說(shuō)明介紹

單室四源高真空電阻式鍍膜設(shè)備

1、真空室腔體:1套

外形：304優(yōu)質(zhì)不銹鋼D形前后開(kāi)門(mén)真空室腔體1套，后門(mén)采用鉸鏈?zhǔn)椒介T(mén)，方便清洗真空腔體，真空室內(nèi)部調(diào)試，維修以及取放物品，前門(mén)采用橫拉方門(mén)，真空室內(nèi)部尺寸D350*480mm，前后門(mén)各配DN100視窗1套;

底部：有機(jī)源接口4套，JTFB-600風(fēng)冷復(fù)合分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及美國(guó)MCVAC水冷膜厚探頭接口2套;

頂部：樣品臺(tái)接口1套，電動(dòng)擋板接口1套，KF16氣動(dòng)角閥接口1套;

左側(cè)：CF35氣動(dòng)預(yù)抽角閥接口1套。

2、有機(jī)源系統(tǒng)：1套

有機(jī)蒸發(fā)源4套：4CC石英舟，溫控電源2臺(tái)(溫控表顯示精度1℃)，溫度區(qū)間：室溫-500℃(控溫精度±1℃)，配氣動(dòng)擋板;

隔板：蒸發(fā)源相互獨(dú)立，隔板分隔，避免交叉污。

3、樣品臺(tái)系統(tǒng)：1套

基片旋轉(zhuǎn)：轉(zhuǎn)速0～30轉(zhuǎn)/分連續(xù)可調(diào);

基片升降：電動(dòng)升降，襯底與蒸發(fā)源間距200-300mm通過(guò)觸摸屏連續(xù)可調(diào);

基片掛架：130×130mm基片臺(tái)，比如可承載最多25片15×15mm基片;

基片擋板：電動(dòng)擋板。

4、真空泵機(jī)組：1套

JTFB-600風(fēng)冷復(fù)合分子泵1臺(tái);

8L/S直聯(lián)旋片泵1臺(tái);

CF150高真空氣動(dòng)插板閥1臺(tái);

CF35高真空氣動(dòng)擋板閥1臺(tái);

KF16高真空氣動(dòng)擋板閥1臺(tái);

KF40高真空氣動(dòng)擋板閥1臺(tái);

KF40真空電磁充氣閥1臺(tái);

KF40泵閥連接軟管2套，KF40三通1套;

ZDF-5227數(shù)顯真空計(jì)1臺(tái)(測(cè)量范圍：1×105～1×10-5Pa)。

5、膜厚檢測(cè)系統(tǒng)：1套

膜厚儀：美國(guó)infocon，SQM160兩通道石英晶振膜厚監(jiān)控儀1套;

膜厚探頭：美國(guó)MCVAC水冷膜厚探頭1套。

6、設(shè)備機(jī)架：1套

40碳鋼方管焊接機(jī)架1套，表面噴塑;

3英寸萬(wàn)向輪4件，移動(dòng)調(diào)整;

M16地腳4件，鎖緊定位。

7、其他電控系統(tǒng)：1套(電氣控制采用設(shè)備機(jī)架內(nèi)置)

烘烤照明電源：1臺(tái);

總控制電源(配7英寸觸摸屏，PLC控制器，樣品臺(tái)控制器，蒸發(fā)電源，泵閥開(kāi)關(guān)、相序檢測(cè)，以及電纜開(kāi)關(guān)接頭等)：1臺(tái);

8、其他技術(shù)參數(shù)：

缺相保護(hù)、誤操作保護(hù)，聯(lián)動(dòng)互鎖以及一鍵真空啟停等功能;

供電：～220V兩相供電系統(tǒng)(峰值3KW);

供水：小型冷水機(jī)，冷卻水溫度5℃～35℃，工作環(huán)境溫度：10℃～40℃;

供氣：小型無(wú)油靜音氣泵，提供0.2-0.3MPa氣壓，驅(qū)動(dòng)氣動(dòng)閥門(mén);

極限真空：優(yōu)于6×10-5Pa，大氣至6×10-4Pa時(shí)間優(yōu)于35分鐘(充干燥氮?dú)?，關(guān)機(jī)12小時(shí)真空度≤10Pa。
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