設(shè)備技術(shù)指標(biāo)：
1、真空室腔體:1套
1) 外形：304優(yōu)質(zhì)不銹鋼D形前后開門(后門采用鉸鏈?zhǔn)椒介T，方便清洗真空腔體，真空室內(nèi)部調(diào)試，維修以及取放物品，前門采用橫拉方門)真空室腔體1套(真空室腔體表面拋光，外潔凈美觀，內(nèi)部尺寸D400*480mm)，前后門配DN100視窗3套;
2) 底部：金屬源接口3套，國產(chǎn)600L/S風(fēng)冷分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及進(jìn)口水冷膜厚探頭接口1套;
3) 頂部：樣品臺接口1套，電動(dòng)擋板接口1套，KF16氣動(dòng)角閥接口1套;
4) 左側(cè)： CF35氣動(dòng)預(yù)抽角閥接口1套，KF16氣動(dòng)放氣閥接口1套。
2、金屬/有機(jī)源系統(tǒng)：1套
1) 金屬蒸發(fā)源3套：水冷
銅電極3組，兼容蒸發(fā)舟(鎢、鉬和鉭舟)和螺旋絲，免工具拆卸，配氣動(dòng)擋板，1KW可控硅調(diào)壓電源3臺(數(shù)字顯示)，電流調(diào)整精度0.1A(微調(diào))，功率滿足常見的金屬、金屬氧化物以及常見有機(jī)材料的蒸鍍;
2) 隔板：蒸發(fā)源相互獨(dú)立，隔板分隔，避免交叉污;
3) 其他：因其中一套蒸發(fā)源蒸鍍材料Au，需比其他兩源高1/3-2/3。
3、樣品臺系統(tǒng)：1套
1) 功能：可升降，可旋轉(zhuǎn)(轉(zhuǎn)速0～30轉(zhuǎn)/分連續(xù)可調(diào));
2) 托架：120*120樣品托掛架，可安裝小于120*120mm襯底(如：15*15mm樣品25片或者25*25mm樣品16片等，按客戶需求);
3) 蒸距：樣片與蒸發(fā)源間距200-300mm;
4) 擋板：樣品托架電動(dòng)擋板1套。
1) 國產(chǎn)600L/S風(fēng)冷分子泵1臺;
2) 8L/S直聯(lián)旋片泵1臺;
3) CF150高真空氣動(dòng)插板閥1臺;
4) CF35高真空氣動(dòng)擋板閥1臺;
5) KF16高真空氣動(dòng)擋板閥2臺;
6) KF40高真空電磁截止閥1臺;
7) KF40真空電磁充氣閥1臺;
8) KF40泵閥連接軟管2套，KF40三通1套;
9) ZDF-5227數(shù)顯真空計(jì)1臺(測量范圍：1×105～1×10-5Pa)。
5、膜厚檢測系統(tǒng)：1套
1) 膜厚儀：采用INFICON，SQM310石英晶振膜厚監(jiān)控儀(模式：順序鍍膜，探頭輸入：2通道;頻率范圍：4 至6 MHz;速率顯示：0.01?/秒;貯存：100 個(gè)過程, 1000 個(gè)膜層, 50 個(gè)膜系;具備與電源聯(lián)鎖功能，可實(shí)現(xiàn)單通道速率與膜厚控制，若鍍膜達(dá)到設(shè)置厚度，可自動(dòng)切斷電源，停止鍍膜，實(shí)現(xiàn)自控膜厚之目的);
2) 膜厚探頭：進(jìn)口水冷膜厚探頭1套。
6、設(shè)備機(jī)架：1套
1) 40碳鋼方管焊接機(jī)架1套，表面噴塑;
2) 3英寸萬向輪4件，移動(dòng)調(diào)整;
3) M16地腳4件，鎖緊定位。
7、其他電控系統(tǒng)：1套(電氣控制采用1.8米電控柜內(nèi)置)
1) 蒸發(fā)源擋板電源：1臺;
2) 樣品臺以及其擋板電源：1臺;
3) 烘烤照明電源：1臺;
4) PLC控制器(配10英寸觸摸屏)：1臺;
5) 總控制電源(含機(jī)械泵電源)：1臺。
8、其他技術(shù)參數(shù)：
1) 缺相保護(hù)、誤操作保護(hù)，聯(lián)動(dòng)互鎖以及一鍵真空啟停等功能;
2) 供電：～220V兩相供電系統(tǒng)(峰值3KW);
3) 供水：小型冷水機(jī)，冷卻水溫度5℃～35℃，工作環(huán)境溫度：10℃～40℃;
4) 供氣：小型無油靜音氣泵，提供0.2-0.3MPa氣壓，驅(qū)動(dòng)氣動(dòng)閥門;
5) 極限真空：優(yōu)于6×10-5Pa，大氣至6×10-4Pa時(shí)間優(yōu)于35分鐘(充干燥氮?dú)?，關(guān)機(jī)12小時(shí)真空度≤10Pa。
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湖南 - 衡陽
2025年04月11日 ~ 13日
