設(shè)備技術(shù)指標(biāo)：
1、真空室腔體:1套
1) 外形：304不銹鋼D形前后開門(后門采用鉸鏈?zhǔn)椒介T，方便清洗真空腔體，真空室內(nèi)部調(diào)試，維修以及取放物品，前門采用橫拉方門)真空室腔體1套(采用物理拋光后，再采用化學(xué)電解拋光，真空室內(nèi)外潔凈美觀，內(nèi)部尺寸D400*480mm)，前后門配DN100視窗3套;
2) 底部：金屬源接口3套，有機(jī)源接口3套，國產(chǎn)600L/S風(fēng)冷分子泵接口1套，CF25照明接口2套以及進(jìn)口水冷膜厚探頭接口2套;
3) 頂部：樣品臺接口1套，電動擋板接口1套，KF16氣動角閥接口1套;
4) 左側(cè)： CF35氣動預(yù)抽角閥接口1套，KF16氣動放氣閥接口1套。
2、金屬/有機(jī)源系統(tǒng)：1套
1) 金屬蒸發(fā)源3套：水冷
銅電極3組，兼容蒸發(fā)舟(鎢、鉬和鉭舟)和螺旋絲，免工具拆卸，配氣動擋板，1KW可控硅調(diào)壓電源2臺(數(shù)字顯示)，電流調(diào)整精度0.1A(微調(diào))，功率滿足常見的金屬以及金屬氧化物的蒸鍍;
2) 有機(jī)蒸發(fā)源3套：4CC石英舟，溫控電源2臺(溫控表顯示精度0.1℃)，溫度區(qū)間：室溫-500℃(控溫精度±1℃)，配氣動擋板;
3) 隔板：蒸發(fā)源隔板分隔，避免交叉污染。
3、樣品臺系統(tǒng)：1套
1) 功能：可升降，可旋轉(zhuǎn)(轉(zhuǎn)速0～30轉(zhuǎn)/分連續(xù)可調(diào));
2) 托架：20*20mm襯底8片，附掩膜板，可真空在線切換掩膜板圖形1次;
3) 蒸距：襯底與蒸發(fā)源間距200-300mm;
4) 擋板：樣品托架電動擋板1套。
1) 國產(chǎn)600L/S風(fēng)冷分子泵1臺;
2) 8L/S直聯(lián)旋片泵1臺;
3) CF150高真空氣動插板閥1臺;
4) CF35高真空氣動擋板閥1臺;
5) KF16高真空氣動擋板閥2臺;
6) KF40高真空氣動擋板閥1臺;
7) KF40真空電磁充氣閥1臺;
8) KF40泵閥連接軟管2套，KF40三通1套;
9) ZDF—5227真空計1臺。
5、膜厚檢測系統(tǒng)：1套
1) 膜厚儀：英?？礢QM160兩通道膜厚監(jiān)測儀1套;
2) 膜厚探頭：進(jìn)口水冷膜厚探頭2套。
6、設(shè)備機(jī)架：1套
1) 40碳鋼方管焊接機(jī)架1套，表面噴塑;
2) 3英寸萬向輪4件，移動調(diào)整;
3) M16地腳4件，鎖緊定位。
7、電控系統(tǒng)：1套(電氣控制采用機(jī)架內(nèi)置)
1) 有機(jī)源電源：2臺(1帶2);
2) 金屬源電源：2臺(1帶2);
3) 蒸發(fā)源擋板電源：1臺;
4) 英福康SQM160兩通道膜厚監(jiān)測儀：1臺;
5) 樣品臺以及其擋板電源：1臺;
6) 烘烤照明電源：1臺;
7) PLC控制器(配10英寸觸摸屏)：1臺;
8) 總控制電源(含機(jī)械泵電源)：1臺。
8、其他技術(shù)參數(shù)：
1) 缺相保護(hù)、誤操作保護(hù)等功能;
2) 供電：～220V兩相供電系統(tǒng)(峰值6KW);
3) 供水：小型冷水機(jī)，冷卻水溫度5℃～35℃，工作環(huán)境溫度：10℃～40℃;
4) 供氣：小型無油靜音氣泵，提供0.2-0.3MPa氣壓，驅(qū)動氣動閥門;
5) 極限真空：優(yōu)于6×10-5Pa，大氣至6×10-4Pa時間優(yōu)于35分鐘(充干燥氮?dú)?，關(guān)機(jī)12小時真空度≤10Pa。
180 
分享 0
舉報 0
收藏 0
反對 0
點(diǎn)贊 0
湖南 - 衡陽
2025年04月11日 ~ 13日
