1.本實(shí)用新型涉及硅料復(fù)投技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種單晶爐硅料復(fù)投裝置。

背景技術(shù)：

2.單晶爐是生產(chǎn)單晶硅棒的主要設(shè)備，在生產(chǎn)單晶硅棒的過程中向單晶爐內(nèi)所單次添加的次硅料裝入量受限，為了保證單晶硅棒的生產(chǎn)質(zhì)量需要將硅料向單晶爐內(nèi)進(jìn)行復(fù)投操作，從而滿足設(shè)備生產(chǎn)單晶硅棒的硅料需求?，F(xiàn)有的硅料復(fù)投裝置大多數(shù)的形式較為固定，向單晶爐內(nèi)進(jìn)行復(fù)投硅料的顆粒大小也較為固定，不能根據(jù)不同時(shí)間的生產(chǎn)需求將不同顆粒的硅料投入到單晶爐內(nèi)。為此，我們提出一種單晶爐硅料復(fù)投裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

3.本實(shí)用新型的目的在于提供一種單晶爐硅料復(fù)投裝置，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

4.為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種單晶爐硅料復(fù)投裝置，包括底座，所述底座的表面通過支撐架固定裝配有底板，所述底板的頂部固定裝配有儲(chǔ)料桶，所述儲(chǔ)料桶的內(nèi)腔開設(shè)有儲(chǔ)料腔和裝配腔，所述儲(chǔ)料腔的底部開設(shè)有貫穿至裝配腔內(nèi)的連接孔，所述裝配腔的側(cè)壁開設(shè)有貫穿儲(chǔ)料桶的開口槽，所述儲(chǔ)料腔內(nèi)裝配有儲(chǔ)料架，所述裝配腔內(nèi)固定裝配有與儲(chǔ)料架相傳動(dòng)連接的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述裝配腔內(nèi)固定裝配有連接組件，所述裝配腔內(nèi)通過連接組件固定裝配有貫穿開口槽的加料管。

5.優(yōu)選的，所述儲(chǔ)料架內(nèi)開設(shè)有第一料倉、第二料倉和第三料倉，所述第一料倉、第二料倉和第三料倉的底部分別開設(shè)有出料孔。

6.優(yōu)選的，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括傳動(dòng)軸，所述傳動(dòng)軸固定連接在儲(chǔ)料架的底部，所述傳動(dòng)軸的底部固定連接有傳動(dòng)齒輪，所述裝配腔的內(nèi)腔固定裝配有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出端固定連接有驅(qū)動(dòng)齒輪，所述驅(qū)動(dòng)齒輪與傳動(dòng)齒輪相互嚙合。

7.優(yōu)選的，所述連接組件包括連接頂部架，所述連接頂部架固定裝配在裝配腔內(nèi)，所述連接頂部架內(nèi)一體成型有連接管，所述連接頂部架的底部四角處一體成型有連接軸，所述連接軸內(nèi)滑動(dòng)連接有伸縮軸，所述伸縮軸的底端與連接底部架固定連接，所述伸縮軸與連接軸的內(nèi)腔之間固定裝配有彈簧，所述連接底部架內(nèi)開設(shè)有導(dǎo)料槽，所述連接管插接至導(dǎo)料槽內(nèi)，所述加料管固定裝配在底部連接架的側(cè)壁，所述底部連接架的側(cè)壁固定裝配有振動(dòng)電機(jī)。

8.優(yōu)選的，所述底座的底部四角處固定裝配有移動(dòng)輪，所述底座的表面焊接固定有把手架。

9.優(yōu)選的，所述儲(chǔ)料桶的頂部裝配有蓋板，所述蓋板的表面固定裝配有把手塊。

10.與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：一種單晶爐硅料復(fù)投裝置，在儲(chǔ)料架內(nèi)設(shè)置有第一料倉、第二料倉和第三料倉，第一料倉、第二料倉和第三料倉分別用于對(duì)不同尺寸大小的硅料進(jìn)行儲(chǔ)存，通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)儲(chǔ)料架的轉(zhuǎn)動(dòng)，可以使第一料倉、第二料倉或

第三料倉分別與加料管進(jìn)行連通，通過加料管向單晶爐內(nèi)完成硅料的復(fù)投，從而滿足對(duì)單晶硅棒的不同加工時(shí)間硅料復(fù)投的生產(chǎn)需求，同時(shí)加料管通過連接組件進(jìn)行裝配，通過所設(shè)置的連接組件可以帶動(dòng)加料管進(jìn)行振動(dòng)，便于加料管進(jìn)行硅料的添加，提高加料管的加料效率。

附圖說明

11.圖1為本實(shí)用新型的立體圖。

12.圖2為本實(shí)用新型的儲(chǔ)料架的結(jié)構(gòu)示意圖。

13.圖3為本實(shí)用新型傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。

14.圖4為本實(shí)用新型連接組件的結(jié)構(gòu)示意圖。

15.圖中：1、底座，2、移動(dòng)輪，3、把手架，4、支撐架，5、底板，6、儲(chǔ)料桶，61、儲(chǔ)料腔，62、裝配腔，63、開口槽，64、連接孔，7、加料管，8、儲(chǔ)料架，81、第一料倉，82、第二料倉，83、第三料倉，84、出料孔，9、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，91、傳動(dòng)軸，92、傳動(dòng)齒輪，93、驅(qū)動(dòng)電機(jī)，94、驅(qū)動(dòng)齒輪，10、軸承，11、連接組件，111、連接頂部架，112、連接管，113、導(dǎo)料槽，114、連接軸，115、伸縮軸，116、彈簧，117、連接底部架，118、振動(dòng)電機(jī)，12、蓋板，13、把手塊。

具體實(shí)施方式

16.下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。

17.請(qǐng)參閱圖1、圖2、圖3和圖4，本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案：一種單晶爐硅料復(fù)投裝置，包括底座1，底座1的底部四角固定裝配有輔助底座1進(jìn)行移動(dòng)的移動(dòng)輪2，底座1的頂部焊接固定有輔助底座1進(jìn)行移動(dòng)的把手架3，通過把手架3與移動(dòng)輪2的相互配合，便于對(duì)底座1進(jìn)行推動(dòng)。

18.底座1的表面通過支撐架4固定裝配有底板5，支撐架4的數(shù)量為四個(gè)，四個(gè)支撐架4分別位于底板5的四角處，四個(gè)支撐架4分別通過固定螺栓與底座1和底板5進(jìn)行連接固定，通過支撐架4對(duì)底板5進(jìn)行支撐，四個(gè)支撐架4可以保證對(duì)底板5的支撐穩(wěn)定。

19.底板5的表面焊接固定有用于對(duì)硅料進(jìn)行存料和出料的儲(chǔ)料桶6，儲(chǔ)料桶6的內(nèi)腔開設(shè)有儲(chǔ)料腔61和裝配腔62，裝配腔62的側(cè)壁開設(shè)有用于加料管7通過的開口槽63，儲(chǔ)料腔61的底部開設(shè)有與裝配腔62相連通的連接孔64，儲(chǔ)料腔6的內(nèi)腔轉(zhuǎn)動(dòng)連接有橫截面呈“四分之三圓形的”的儲(chǔ)料架8，且裝配腔62內(nèi)裝配有與儲(chǔ)料架8相傳動(dòng)連接的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)9，通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)9帶動(dòng)儲(chǔ)料架8進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，使儲(chǔ)料架8不同位置的料倉與連接孔64相連通，便于向加料管7內(nèi)進(jìn)行供料。

20.儲(chǔ)料架8內(nèi)開設(shè)有第一料倉81、第二料倉82和第三料倉83，第一料倉81、第二料倉82和第三料倉83的底部分別開設(shè)有孔徑與連接孔64相匹配的出料孔84，通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)9帶動(dòng)儲(chǔ)料架8的轉(zhuǎn)動(dòng)，使第一料倉81、第二料倉82和第三料倉83底部的出料孔84與連接孔64相連通，則可以向加料管7內(nèi)進(jìn)行加料，當(dāng)?shù)谝涣蟼}81、第二料倉82和第三料倉83底部的連接孔64均不與連接孔64的位置相對(duì)應(yīng)時(shí)，則停止向連接孔64內(nèi)出料，完成對(duì)儲(chǔ)料架8的封閉。

21.第一料倉81、第二料倉82和第三料倉83分別用于對(duì)不同顆粒大小的硅料進(jìn)行儲(chǔ)存，在生產(chǎn)的過程中根據(jù)生產(chǎn)需要依次向單晶爐內(nèi)投入第一料倉81、第二料倉82和第三料

倉83內(nèi)所存放的硅料

22.第一料倉81、第二料倉82和第三料倉83的底部均呈傾斜角度設(shè)置，便于所儲(chǔ)存的物料向出料孔84處進(jìn)行移動(dòng)。

23.在儲(chǔ)料桶6的頂部裝配有可拆卸的蓋板12，蓋板12的頂部固定連接有把手塊13，通過設(shè)置蓋板12便于對(duì)儲(chǔ)料腔61內(nèi)的儲(chǔ)料架8進(jìn)行封閉。

24.如圖3中所示，傳動(dòng)機(jī)構(gòu)9包括傳動(dòng)軸91，傳動(dòng)軸91焊接固定在儲(chǔ)料架8的底部貫穿至裝配腔62內(nèi)，傳動(dòng)軸91的底部焊接固定有傳動(dòng)齒輪92，裝配腔62的內(nèi)腔內(nèi)固定裝配有驅(qū)動(dòng)電機(jī)93，驅(qū)動(dòng)電機(jī)93的輸出端固定裝配有驅(qū)動(dòng)齒輪94，驅(qū)動(dòng)齒輪94與傳動(dòng)齒輪92相嚙合，驅(qū)動(dòng)電機(jī)93電連接外部電源，通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)93帶動(dòng)驅(qū)動(dòng)齒輪94與傳動(dòng)齒輪92進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，對(duì)儲(chǔ)料架8的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，儲(chǔ)料架8與儲(chǔ)料腔61的底部之間裝配有軸承10，通過設(shè)置軸承10便于儲(chǔ)料架8進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)角度的調(diào)節(jié)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)93電連接外部控制器，通過外部控制器對(duì)驅(qū)動(dòng)電機(jī)93的轉(zhuǎn)動(dòng)方向以及轉(zhuǎn)動(dòng)的行程進(jìn)行控制，每開啟一次驅(qū)動(dòng)電機(jī)93的轉(zhuǎn)動(dòng)行程為固定的，轉(zhuǎn)動(dòng)的行程為儲(chǔ)料架8的轉(zhuǎn)動(dòng)角度呈90度后，驅(qū)動(dòng)電機(jī)93關(guān)閉，通過驅(qū)動(dòng)電機(jī)93向不同方向的轉(zhuǎn)動(dòng)，可以對(duì)第一料倉81、第二料倉82和第三料倉83與連接孔64的重合進(jìn)行控制。

25.如圖4中所示，加料管7通過連接組件11裝配在裝配腔62內(nèi)，連接組件11包括呈工字型的連接頂部架111，連接頂部架111與裝配腔62的內(nèi)腔頂部相固定，連接頂部架111的中心處固定裝配有與連接管112，連接管112的一端與連接孔64的位置相對(duì)應(yīng)，連接管112的另一端插接至導(dǎo)料槽113內(nèi)，導(dǎo)料槽113的孔徑大于連接管112的底部外徑，導(dǎo)料槽113開設(shè)在連接底部架117的側(cè)壁，加料管7的端部固定連接在連接底部架117的側(cè)壁，加料管7呈小角度的向下傾斜，加料管7與導(dǎo)料槽113相連通，通過連接組件11將連接孔64與加料管7進(jìn)行連通，使硅料進(jìn)入到加料管7內(nèi)。

26.連接頂部架111的底部四角處分別一體成型有連接軸114，連接軸114的內(nèi)腔插接有伸縮軸115，伸縮軸115的上、下兩端分別與連接軸114的內(nèi)腔之間裝配有彈簧116，伸縮軸115的底部與連接底部架117固定連接，連接底部架117的側(cè)壁固定裝配有振動(dòng)電機(jī)118，振動(dòng)電機(jī)118電連接外部電源，振動(dòng)電機(jī)118通電開啟后帶動(dòng)連接底部架117和加料管7進(jìn)行輕微的振動(dòng)，通過設(shè)置彈簧116可以加強(qiáng)連接底部架117的振動(dòng)幅度，同時(shí)伸縮軸115與連接軸114的配合又可以對(duì)連接底部架117的振動(dòng)幅度進(jìn)行控制，便于加料管7向單晶爐內(nèi)進(jìn)行加料，同時(shí)也避免了物料在加料管7內(nèi)堆積。

27.工作原理：在使用的過程中通過把手架3與移動(dòng)輪2的配合將加料管7插入至單晶爐側(cè)壁的復(fù)投管內(nèi)，根據(jù)單晶爐加工過程中的硅料復(fù)投需求，控制儲(chǔ)料架8進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)，使不同位置的料倉與連接孔64相重合連通，第一料倉81、第二料倉82和第三料倉83與連接孔64相重合后，內(nèi)部所儲(chǔ)存的物料通過連接孔64進(jìn)入到連接組件11內(nèi)，然后再通過加料管7向單晶爐內(nèi)完成物料的添加，在添加的過程中通過振動(dòng)電機(jī)118帶動(dòng)連接底部架117和加料管7進(jìn)行輕微的振動(dòng)，提高硅料向單晶爐內(nèi)的添加效果。技術(shù)特征：

1.一種單晶爐硅料復(fù)投裝置，包括底座(1)，所述底座(1)的表面通過支撐架(4)固定裝配有底板(5)，所述底板(5)的頂部固定裝配有儲(chǔ)料桶(6)，其特征在于：所述儲(chǔ)料桶(6)的內(nèi)腔開設(shè)有儲(chǔ)料腔(61)和裝配腔(62)，所述儲(chǔ)料腔(61)的底部開設(shè)有貫穿至裝配腔(62)內(nèi)的連接孔(64)，所述裝配腔(62)的側(cè)壁開設(shè)有貫穿儲(chǔ)料桶(6)的開口槽(63)，所述儲(chǔ)料腔(61)內(nèi)裝配有儲(chǔ)料架(8)，所述裝配腔(62)內(nèi)固定裝配有與儲(chǔ)料架(8)相傳動(dòng)連接的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(9)，所述裝配腔(62)內(nèi)固定裝配有連接組件(11)，所述裝配腔(62)內(nèi)通過連接組件(11)固定裝配有貫穿開口槽(63)的加料管(7)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐硅料復(fù)投裝置，其特征在于：所述儲(chǔ)料架(8)內(nèi)開設(shè)有第一料倉(81)、第二料倉(82)和第三料倉(83)，所述第一料倉(81)、第二料倉(82)和第三料倉(83)的底部分別開設(shè)有出料孔(84)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐硅料復(fù)投裝置，其特征在于：所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(9)包括傳動(dòng)軸(91)，所述傳動(dòng)軸(91)固定連接在儲(chǔ)料架(8)的底部，所述傳動(dòng)軸(91)的底部固定連接有傳動(dòng)齒輪(92)，所述裝配腔(62)的內(nèi)腔固定裝配有電機(jī)(93)，所述電機(jī)(93)的輸出端固定連接有驅(qū)動(dòng)齒輪(94)，所述驅(qū)動(dòng)齒輪(94)與傳動(dòng)齒輪(92)相互嚙合。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐硅料復(fù)投裝置，其特征在于：所述連接組件(11)包括連接頂部架(111)，所述連接頂部架(111)固定裝配在裝配腔(62)內(nèi)，所述連接頂部架(111)內(nèi)一體成型有連接管(112)，所述連接頂部架(111)的底部四角處一體成型有連接軸(114)，所述連接軸(114)內(nèi)滑動(dòng)連接有伸縮軸(115)，所述伸縮軸(115)的底端與連接底部架(117)固定連接，所述伸縮軸(115)與連接軸(114)的內(nèi)腔之間固定裝配有彈簧(116)，所述連接底部架(117)內(nèi)開設(shè)有導(dǎo)料槽(113)，所述連接管(112)插接至導(dǎo)料槽(113)內(nèi)，所述加料管(7)固定裝配在底部連接架(117)的側(cè)壁，所述底部連接架(117)的側(cè)壁固定裝配有振動(dòng)電機(jī)(118)。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐硅料復(fù)投裝置，其特征在于：所述底座(1)的底部四角處固定裝配有移動(dòng)輪(2)，所述底座(1)的表面固定裝配有把手架(3)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐硅料復(fù)投裝置，其特征在于：所述儲(chǔ)料桶(6)的頂部裝配有蓋板(12)，所述蓋板(12)的表面固定裝配有把手塊(13)。

技術(shù)總結(jié)

本實(shí)用新型公開了一種單晶爐硅料復(fù)投裝置，包括底座，底座的表面通過支撐架固定裝配有底板，底板的頂部固定裝配有儲(chǔ)料桶，儲(chǔ)料桶的內(nèi)腔開設(shè)有儲(chǔ)料腔和裝配腔，儲(chǔ)料腔的底部開設(shè)有貫穿至裝配腔內(nèi)的連接孔，裝配腔的側(cè)壁開設(shè)有貫穿儲(chǔ)料桶的開口槽，儲(chǔ)料腔內(nèi)裝配有儲(chǔ)料架，裝配腔內(nèi)固定裝配有與儲(chǔ)料架相傳動(dòng)連接的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，裝配腔內(nèi)固定裝配有連接組件，裝配腔內(nèi)通過連接組件固定裝配有貫穿開口槽的加料。對(duì)不同尺寸大小的硅料進(jìn)行儲(chǔ)存，通過傳動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)儲(chǔ)料架的轉(zhuǎn)動(dòng)，可以使第一料倉、第二料倉或第三料倉分別與加料管進(jìn)行連通，通過加料管向單晶爐內(nèi)完成硅料的復(fù)投，從而滿足對(duì)單晶硅棒的不同加工時(shí)間硅料復(fù)投的生產(chǎn)需求。晶硅棒的不同加工時(shí)間硅料復(fù)投的生產(chǎn)需求。晶硅棒的不同加工時(shí)間硅料復(fù)投的生產(chǎn)需求。

技術(shù)研發(fā)人員：張國峰 郭黨 趙思佳

受保護(hù)的技術(shù)使用者：遼寧博芯科半導(dǎo)體材料有限公司

技術(shù)研發(fā)日：2023.04.18

技術(shù)公布日：2023/9/1