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凝固坩堝旋轉式電子束熔煉提純多晶硅的設備

819 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 14:32:43

本實用新型屬于用物理冶金技術提純技術領域，特別涉及一種電子束熔煉提純多晶硅的設備，由上腔室和下腔室構成腔室整體，所述上腔室底板上通過坩堝架活動安裝有熔煉坩堝，滑動機構通過傳動桿安裝于熔煉坩堝一側，上腔室側壁上固定安裝有裝料箱，送料帶固定安裝于裝料箱之上，送料帶送料口位于熔煉坩堝正上方，下腔室通過導軌機構活動安裝于支撐腿之上，且位于上腔室正下方，下腔室底板上固定安裝有轉動機構，旋轉臺固定安裝于轉動機構上，頂撐臺活動安裝于旋轉臺之上，凝固坩堝置于頂撐臺之上，上腔室底板和下腔室頂板上都開設有硅液傾倒口，本實用新型的設備，結構緊湊，易于操作，安全可控，生產(chǎn)效率高。

聲明：

“凝固坩堝旋轉式電子束熔煉提純多晶硅的設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)