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銅合金靶材、其制造方法、及其制成的薄膜及太陽能電池

988 編輯：管理員來源：中冶有色技術網(wǎng)

2023-03-18 14:33:13

本發(fā)明涉及一種銅合金靶材的制造方法,其包括:形成一靶材初坯;以及將靶材初坯在500-850℃區(qū)間進行熱機處理或熱退火處理,以令所制成的靶材中化合物相小于整體靶材面積的25%。本發(fā)明涉及一種銅合金靶材;本發(fā)明還涉及一種薄膜,其是使用如上所述的銅合金靶材經(jīng)由濺鍍所形成的;本發(fā)明另關于一種太陽能電池,其包含如上所述的薄膜。通過本發(fā)明(近)單相組織的銅合金靶材,使其應用于濺鍍過程中不會誘發(fā)微電弧現(xiàn)象,而且也因著靶材(近)單相組織,使得靶材表面各處的濺鍍速度相等,促使形成的薄膜成分均勻,故能提升薄膜質(zhì)量及良率。

聲明：

“銅合金靶材、其制造方法、及其制成的薄膜及太陽能電池” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術所有人。

我是此專利(論文)的發(fā)明人(作者)